pチャネルとnチャネル のMOSFETを、相補うように接続した集積回路の構造である。TTLなどに比べて消費電力の少ない論理回路を実現でき、また集積度を上げることが可能である。 1990年代になると、半導体メモリやマイクロプロセッサなどのロジックICはほとんどがCMOS構造となり、小容量電源回路・アナログ-デジタル変換回路・デジタル-アナログ変換回路などを含むものも製作されるようになった。